Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業(yè)界創(chuàng)新型大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機(jī)動(dòng)化。新升級(jí)的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)，可有效地檢測(cè)整個(gè)300mm晶圓，且無(wú)需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動(dòng)XY工作臺(tái)，但Park的創(chuàng)新性振動(dòng)隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (?) RMS，通常是0.3 ? RMS的水平。

可用于 300mm晶片圓測(cè)量和分析的自動(dòng)化納米測(cè)量工具

·支持200mmx200mm或300mmx300mm的全自動(dòng)原子力顯微鏡

·無(wú)需手動(dòng)移動(dòng)樣品即可實(shí)現(xiàn)樣品上每個(gè)點(diǎn)的精密測(cè)量

·Park NX20300 mm是專為失效分析和質(zhì)量品控設(shè)計(jì)

·工業(yè)測(cè)試軟件可以實(shí)現(xiàn)樣品的全自動(dòng)化批量測(cè)量，使得NX20檢測(cè)過(guò)程變得高效易用

專為大樣品晶圓檢測(cè)而建

NX20 300 mm進(jìn)行了全新設(shè)計(jì)，可達(dá)到大樣品的高精度測(cè)量。整個(gè)300mm晶圓區(qū)域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測(cè)量分析。這開啟了一個(gè)全新的自動(dòng)化測(cè)量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡(jiǎn)便、更精準(zhǔn)地開展工作。

靈活的300mm樣品吸盤

Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓，讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品。

300mm XY軸工作臺(tái)

機(jī)動(dòng)化的300mm XY軸工作臺(tái)允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動(dòng)原子力顯微鏡的測(cè)量位置。

針對(duì)廣泛應(yīng)用性進(jìn)行優(yōu)化

Park NX20 300mm原子力顯微鏡為眾多應(yīng)用提供自動(dòng)格式的原子力顯微鏡測(cè)量，為納米級(jí)的樣品提供精準(zhǔn)測(cè)量和分析。具有粗糙度、高度和深度測(cè)量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測(cè)大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇。